星辰光刻光源实验室,午夜。
张工盯着监测屏上那条功率曲线,眼睛布满血丝。
"又掉了。"他把手里的记录本往桌上一拍,"连续运行四小时,功率从520瓦一路掉到487瓦。一掉电,镀膜层就开始烧损——这就是个死循环。"
光源组十几号人,围在监测屏前,一片沉默。
"张工,"一个年轻工程师低声问,"这个问题,真就无解了?"
"无解?"张工苦笑,"要是有解,我至于熬这第七个通宵?"
他指着屏幕上那根跳动的波纹:"LPP光源,用二氧化碳激光轰击锡滴产生等离子体。锡滴在激光下爆开,变成高温等离子体,发出极紫外光。原理不复杂,难就难在——锡滴炸开的时候,会有无数碎屑高速飞溅。"
"飞溅的锡屑粘到收集镜上,镜面一脏
本文链接:https://www.tlxsbook.com/254_254150/2564543.html