星辰光刻光学实验室,无尘车间的灯光白得刺眼。
陈院士戴着白色防尘帽,手里的数据报告翻了一页,眉头拧成了疙瘩。
"三号镜的粗糙度,又卡在0.32纳米了。"他把报告拍在桌上,"就差0.02,死活下不去。"
周围几个材料所的研究员,你看我我看你,谁也没敢接话。
"陈院士,"一个年轻研究员小声说,"要不……先按0.32验收?0.3纳米的目标,差这0.02,国际上也不是完全不能……"
"不行!"陈院士直接打断他,"0.5纳米的芯片制程,光学镜组的粗糙度必须压到0.3纳米以下。差0.02,良率就得掉一个档次。这是国产EUV的脊梁骨,宁可慢,不能糊弄!"
实验室里,气氛有些凝重。
苏宇推门进来时,看到的正是
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